面精度：面型精度采用精密拋光與理想平面的偏差量來(lái)表示。因為使用可以測量波面的干涉儀來(lái)測量，所以也被稱(chēng)為反射波面精度。面型精度的干涉條紋數的單位是λ,λ是指干涉儀所使用的氦氖激光器的波長(cháng)為 632.8nm。另外，表示面型精度有兩個(gè)參數:PV和 RMS 值。PV值是 Peak to Valley(峰值與谷值的差值)，RMS值是 Root MeanSquare(均方根值)。

表面質(zhì)量：這是評估研磨或鍍膜后的表面缺陷的一個(gè)參數，通常用劃痕(scratch)和凹坑 (dig)兩種數值的組合來(lái)表述。

激光損傷閾值：當高功率的脈沖激光照射到光學(xué)元件時(shí)，可能會(huì )造成光學(xué)元件的膜層或玻璃材料的損傷。當光學(xué)元件開(kāi)始遭到損傷時(shí)的激光能量密度(J/cm?)稱(chēng)為激光損傷閾值。相關(guān)閱讀：如何計算濾光片的激光損傷閾值

P 偏光 S 偏光：當光線(xiàn)斜入射到玻璃表面時(shí)，其反射率會(huì )隨入射光線(xiàn)的偏光方向發(fā)生變化。在玻璃表面的法線(xiàn)和入射光束所構成的平面內振動(dòng)的光波稱(chēng)為P偏光，與P偏光正交方向振動(dòng)的光波稱(chēng)為S偏光。其他方向的偏振狀態(tài)可以認為是不同比例的 P 偏光和 S 偏光合成的結果。P 偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所決定，因為他們遵循的法則不同，所以P偏光和S偏光的反射率也是不同的。

光束偏轉角：在激光東光路中插入光學(xué)元件時(shí)，光東方向會(huì )發(fā)生偏轉，與原光東方向相比所偏轉的角度稱(chēng)為光束偏轉角。光束偏轉角由光學(xué)元件的平行度和折射率決定。

偏心：以透鏡的外徑為基準，轉動(dòng)透鏡時(shí)，如果是理想透鏡，透過(guò)光束或者聚光光束將不會(huì )變動(dòng);如果理想透鏡的光軸和透鏡外徑的中心軸存在角度偏差時(shí)，透過(guò)光束將按周?chē)壽E運動(dòng)。與轉動(dòng)軸相比透過(guò)光束所擺的角度稱(chēng)為偏心。